等離子清洗機(jī)基礎(chǔ)知識以及清洗原理
瀏覽次數(shù):195 次 更新時間:2020-06-10
等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子清潔機(jī),,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),,利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果,。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),,并不屬于常見的固液氣三態(tài),。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子,、電子,、原子、活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài)),、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔,、涂覆等目的,。
等離子清洗機(jī)基礎(chǔ)知識
等離子體和固體、液體或氣體一樣,,是物質(zhì)的一種狀態(tài),,也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài),。等離子體的"活性"組分包括:離子,、電子、活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài)),、光子等。等離子體表面處理儀就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,,從而實(shí)現(xiàn)清潔,、改性、光刻膠灰化等目的,。
等離子清洗機(jī)清洗原理
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),,通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài),、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣中電離層中的物質(zhì),。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動狀態(tài)的電子,;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子,、原子團(tuán)(自由基),;離子化的原子、分子,;未反應(yīng)的分子,、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài),。
在真空腔體里,,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達(dá)到清洗目的.
等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)
等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個大的部分組成,,分別是控制單元,、真空腔體以及真空泵。就以下三個部分做一個陳述:
一,、控制單元:
目前國內(nèi)使用的等離子清洗機(jī),包括國外進(jìn)口的,控制單元主要分為半自動控制,、全自動控制,、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式,。
而控制單元又分為兩個大的部分:1)電源部分:主要電源頻率有三種,,分別是40KHz、13.56MHz,、2.45GHz,,其中13.56MHz是需要電源匹配器的,而2.45GHz又稱為微波等離子,,主要的功能作用,,前面已經(jīng)提到了,這里就不一一介紹了,。2)系統(tǒng)控制單元:分三種,,按鈕控制(半自動、全自動),、電腦控制,、PLC控制(液晶觸摸屏控制)。
二,、真空腔體:
真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的:1)不銹鋼真空腔體,,2)石英腔體。
三,、真空泵:
真空泵分為兩種:1)干泵?,、2)油泵